سیستم های پلاسمای فشار پایین
پلاسمای کم فشار بین دو الکترود توسط میدانهای فرکانس بالا تولید میشود.
این پلاسماها در محفظه های بسته تحت خلاء تولید می شوند.
در محفظه خلاء، گازها یا مخلوطهای گازی موجود در محفظه با اعمال میدان یونیزه میشوند ، در نتیجه به حالت پلاسما بسیار واکنشپذیر تبدیل میشوند.
خواص سطحی اجزای مورد نظر به طور خاص با انتخاب ترکیب گاز (هوا، نیتروژن، اکسیژن و …) تغییر میکند.
در فرآیند پلاسمای کم فشار، اجزا در یک منطقه بزرگ تحت تیمار قرار می گیرند.
دستگاه های ساخته شده: